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  离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜千里积建立并称为芯片制造“四大中枢装备”，是半导体制造不成或缺的“刚需”建立。近日，由中核集团中国原子能科学推敲院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）到手出束，中枢见地达到国际先进水平。

  这记号着我国已全面掌抓串列型高能氢离子注入机的全链路研发时间，攻克了功率半导体制造链谬误门径，为鼓舞高端制造装备自主可控、保险产业链安全奠定坚实基础。

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  遥远以来，我国高能氢离子注入机十足依赖海外入口，其研发难度大、时间壁垒高，幸运彩app官方最新版下载是制约我国政策性产业升级的瓶颈之一。这次高能氢离子注入机的到手研制，是核时间与半导体产业深度交融的迫切后果，将有劲普及我国在功率半导体等谬误限制的自主保险材干，更为助力“双碳”方向驱散、加速酿成新质分娩力提供强有劲时间撑持。

  据先容，原子能院依托在核物理加速器限制数十年的深厚累积，以串列加速器时间看成中枢技巧，破解一系列苦恼，十足掌抓了串列型高能氢离子注入机从底层旨趣到整机集成的正向打算材干，松懈了海外企业在该限制的时间阻滞和遥远独揽。（光明网记者宋雅娟）

起原：光明网

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